cnc精密加工是一種采用由磨料組成的磨具，即油石，以規定的壓力對旋轉工件表面作振蕩運動來切除工件表面材料的加工方法．超精后工件表面產生平行的、以一定角度相互交叉的加工同紋．對超精加工有重要髟響的因素，
小振蕩超精加工的特點是采用多種運動的疊加來達到工件材料的去除量，所謂多種運動是指三種正交的速度分量，其中二種是與工件表面平行的運動(工件線速學和工件振蕩速度)，另一種是油石進給方如上的運動(進給速度)．果用小振蕩超精加工可在最短時聞內明顯地改善工件表面的粗糙度，并可校正尺寸和降低形狀誤差．同對證實了這種超精方法還可改善工件的表面組織．
